Вентиляторно-фильтрующий модуль, обычно обозначаемый как FFU, представляет собой интегрированное моторизованное устройство очистки воздуха терминального типа, включающее в себя внутренний узел вентилятора и высокоэффективные фильтрующие материалы.

Основной рабочий процесс

Свежий приточный воздух доводится до целевых параметров с помощью системы кондиционирования воздуха, направляется в статический напорный пленум потолка и тщательно смешивается с рециркуляционным обратным воздухом. Встроенный вентилятор FFU создает давление этого смешанного воздушного потока, прогоняя его через высокоэффективные воздушные фильтры (HEPA) или фильтры сверхнизкой очистки воздуха от частиц (ULPA), чтобы подать ламинарный, ультрачистый воздух в чистую комнату. Вытесняемый воздух чистой комнаты направляется через перфорированные панели фальшпола или возвратные воздуховоды в боковых стенах обратно к батареям сухого охлаждения. После термической обработки (охлаждения или нагрева) на батареях сухого охлаждения поток воздуха возвращается в статический напорный пленум, завершая непрерывный замкнутый цикл фильтрации воздуха в чистой комнате.

Эта конфигурация широко используется на объектах, требующих сверхтихих акустических характеристик и строгого контроля микрозагрязнений, таких как производство полупроводниковых интегральных схем (ИС), производство TFT-дисплеев, производство твердотельных накопителей (SSD) и связанных с ними чистых помещений микроэлектроники.

Основные характеристики FFU 

1. Модульная архитектура с возможностью адаптивного размещения

Поскольку панели перегородок чистой комнаты соответствуют стандартным модулям потолочной решетки и имеют специальные конструктивные соединения, перегородки помещения могут быть переконфигурированы при необходимости для адаптации к изменяющимся производственным линиям. При изменении планировки чистой комнаты стандарты местного класса чистоты могут поддерживаться путем смещения отдельных позиций FFU. Будучи автономным модульным устройством очистки, FFU не ограничена жесткими воздуховодами; блоки можно перемещать, добавлять или удалять по желанию для удовлетворения локальных требований к качеству воздуха. Обычные централизованные системы распределения воздуха с воздуховодами не могут обеспечить такую степень пространственной гибкости.

2. Равномерная и стабильная скорость воздуха

Спроектированные аэродинамические каналы потока, оснащенные специальными диффузорами для выравнивания воздуха, обеспечивают равномерную, стабильную скорость истечения по всей поверхности фильтра. По сравнению с традиционными централизованными системами с воздуховодами, такая конструкция исключает дисбаланс воздушного потока между различными потолочными приточными диффузорами.

3. Компьютерный мониторинг и существенная экономия энергии

Установка FFU минимизирует потребность в разветвленной сети воздуховодов. За исключением прокладки основных воздуховодов свежего воздуха, подавляющая часть обратного воздуха циркулирует локально по коротким путям, что резко снижает трение в воздуховодах и сопротивление системы. Кроме того, поскольку скорость потока на выходе из FFU обычно поддерживает равномерный профиль 0.45±20%, динамическое сопротивление фильтрующего материала существенно снижается.

Потребляемая мощность вентиляторного фильтрующего модуля FFU удивительно мала. Устройства обычно оснащаются высокоэффективными электродвигателями переменного тока в паре с оптимизированными рабочими колесами вентиляторов, преимущественно изготовленными из алюминиевого сплава, что исключает образование вторичных частиц и повышает эффективность работы. По сравнению с традиционными централизованными системами подачи воздуха применение фильтрации FFU позволяет обеспечить экономию энергии, превышающую 40%. Следовательно, хотя первоначальные капитальные затраты на конфигурацию FFU могут быть выше, более низкое текущее энергопотребление и сниженные требования к техническому обслуживанию обеспечивают существенную долгосрочную экономическую отдачу.

4. Ускоренные графики строительства проектов

Поскольку система FFU избавляет от необходимости использования массивных воздуховодов рециркуляционного воздуха, характерных для централизованных воздушных систем, она исключительно хорошо подходит для реконструкции чистых помещений с ограниченным пространством подпотолочного пространства. Исключение сложного изготовления и монтажа воздуховодов значительно сокращает общие сроки строительства чистого помещения, позволяя предприятиям ускорить ввод проекта в эксплуатацию и раньше начать коммерческое производство.

5. Безопасность камеры статичного давления с отрицательным давлением

Поскольку моторный вентилятор FFU внутренне создает собственное движущее статическое давление, потолочная камера подачи воздуха функционирует при отрицательном давлении относительно оболочки чистого помещения. В результате загрязняющие частицы внутри камеры статичного давления не могут просачиваться вниз в рабочую зону чистого помещения под воздействием избыточного давления.

Следовательно, даже если уплотнение потолочной решетки или стык подачи воздуха имеют несовершенную посадку, утечка воздуха направляется из чистого помещения с избыточным давлением вверх в камеру отрицательного давления, обеспечивая более чистое, безопасное и простое уплотнение границ.

6. Снижение эксплуатационных расходов

Хотя первоначальные инвестиции в оборудование могут превышать затраты на централизованную вентиляцию с воздуховодами, система обеспечивает явные долгосрочные эксплуатационные преимущества, включая превосходную энергоэффективность и долговечность, практически не требующую обслуживания.

7. Эффективная вентиляция

Эта конструкция является отличительной особенностью. Поскольку устройство создает собственное статическое давление, камера статичного давления приточного воздуха поддерживает отрицательное давление по отношению к зоне чистого помещения. Следовательно, находящиеся в воздухе частицы внутри камеры статичного давления не будут просачиваться в контролируемую чистую зону при избыточном давлении, что делает общую герметизацию простой и надежной.

8. Операционная гибкость

Вентиляторно-фильтровальное оборудование работает от встроенного источника питания, что означает, что установка не ограничена площадью или планировкой цеха. В крупномасштабном чистом помещении устройствами можно управлять и контролировать их по определенным зонам в соответствии с точными эксплуатационными требованиями. Такая высокая степень гибкости делает регулировку пространства и воздушного потока исключительно простой.

9. Встроенная система отвода воздуха по воздуховодам снижает уровень шума при работе и потери статического давления, продлевая срок службы вентилятора и повышая его общую эффективность.

10. С точки зрения жизненного цикла оборудования, любые блоки, временно выведенные из эксплуатации, могут быть демонтированы, надлежащим образом запечатаны, безопасно сохранены и повторно использованы или переработаны для будущих проектов чистых помещений.

11. Система предназначена для чистых помещений, требующих уровней чистоты от класса 1 до класса 1000, что делает ее особенно эффективной для создания ультрачистых технологических линий. В зависимости от конкретных требований технологического процесса она может использоваться как отдельный модуль, располагаться в виде многомодульных массивов или соединяться последовательно для формирования сборочной линии класса 100 .

12. Фильтр-вентиляторный модуль FFU поддерживает несколько методов регулирования скорости и работает с исключительно низким энергопотреблением, позволяя предприятиям эффективно минимизировать текущие эксплуатационные расходы.