С развитием компьютеров, микроэлектроники и информационных технологий было стимулировано быстрое развитие электронной промышленности, а также развитие технологии чистых помещений. В то же время к проектированию чистых помещений предъявляются более высокие требования.

Проектирование чистых помещений в электронной промышленности — это комплексная технология. Только путем полного понимания конструктивных особенностей беспылевых цехов электронной промышленности и достижения рационального проектирования можно снизить процент брака продукции электронной промышленности и повысить эффективность производства.

Особенности электронного чистого помещения

Требуется высокий уровень чистоты. Объем воздуха, температура, влажность, перепад давления и выхлоп оборудования контролируются по требованию. Освещенность и скорость ветра в сечении чистого помещения контролируются в соответствии с проектом или техническими условиями. Кроме того, к этому типу чистых помещений предъявляются чрезвычайно строгие требования к статическому электричеству. Среди них требования к влажности особенно суровые, поскольку в слишком сухом помещении легко образуется статическое электричество, которое может нанести ущерб интеграции CMOS.

1. Вообще говоря, температура электронного чистого помещения должна поддерживаться на уровне около 22℃, а относительная влажность должна контролироваться в пределах 50-60% (специальные чистые цеха имеют соответствующие правила температуры и влажности). В это время статическое электричество может быть эффективно устранено, и люди чувствуют себя комфортно.

2. Чистые помещения для чипов, чистые помещения для интегральных схем и цеха по производству дисков являются важными компонентами чистых помещений в электронной промышленности. Поскольку к качеству и чистоте воздуха в помещении в процессе производства электронной продукции предъявляются чрезвычайно строгие требования, основными объектами являются контроль частиц и взвешенной пыли. В то же время установлены строгие нормы в отношении температуры и влажности окружающей среды, количества свежего воздуха и шума.

3. Уровень шума (в пустом состоянии) в 10,000-классном чистом помещении завода по производству электроники: не должен превышать 65 дБ(А).

4. Коэффициент заполнения чистой комнаты с вертикальным потоком воздуха на заводе по производству электроники должен составлять не менее 60%, а для чистой комнаты с горизонтальным однонаправленным потоком — не менее 40%, иначе поток будет частично однонаправленным.

5. Статический перепад давления между чистым помещением и внешней средой на заводе по производству электроники должен составлять не менее 10 Па, а статический перепад давления между чистой зоной и нечистой зоной с разной степенью чистоты воздуха — не менее 5 Па.